高效过滤器送风口发生破损泄漏检测洁净室的悬浮粒子数

　　高效过滤器送风口发生破损泄漏时，应检测洁净室的悬浮粒子数，发现悬浮粒子数超标时，应边检查、边用环氧树脂硅胶堵漏，或紧固螺栓，直至无泄漏现象出现或经检查，堵漏仍不能保证泄漏发生，应对过滤器进行更换。

　　高效过滤器送风口风速降至0.32米/秒以下时应更换

　　高效过滤器送风口风量降到额定风量70%以下时应更换

　　高效过滤器送风口更换后，用尘埃粒子计数器对高效过滤器和安装连接处进行检漏。在扫描巡检的同时，紧固螺栓或用环氧树脂堵漏。

　　高效过滤器送风口的检测、更换应及时记录

　　高效过滤器送风口更换后，应进行洁净度测试

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